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SSB225/20型投影光刻機空氣隔振器使用教程


在現代科學技術的不斷發展下,投影光刻機作為一種重要的微細加工設備,廣泛應用于半導體行業、科學研究領域等。為了保證光刻機的高精度加工效果,提高設備的穩定性和可靠性,投影光刻機空氣隔振器的應用就顯得尤為重要。本文將介紹SSB225/20型投影光刻機空氣隔振器使用方法,幫助用戶正確操作和維護設備。
 
1.在使用SSB225/20型投影光刻機空氣隔振器之前,首先需要檢查隔振器的安裝正確與否。保證安裝位置平整穩固,并且與光刻機底座連接緊密。同時,檢查氣源管道的連接狀況,保證氣體能夠順利進入隔振器,維持正常的運行狀態。
SSB225/20型投影光刻機空氣隔振器使用教程
2.接下來,我們需要了解怎樣正確操作SSB225/20型投影光刻機空氣隔振器。首先,開啟氣源開關,確保氣體供應正常。隨后,通過調整氣源壓力調節閥,將隔振器內氣囊的壓力調整至合適的范圍。過高或過低的氣囊壓力都會影響設備的工作效果,因此需根據實際需要進行調節。
 
3.隔振器里的氣囊壓力調節完成后,我們需要進行平整度和垂直度的校正。首先,開啟光刻機的水準校正功能,并依據設備操作手冊要求進行有關調節。對于垂直度的校正,能夠通過調節氣源開關和氣囊壓力調節閥,來實現隔振器的升降調節。在調整過程中,需要注意保持光刻機的平穩,避免產生任何不必要的振動。